HVPE反应器内输运现象的数值模拟研究

• 作者: 李晖
• 来源期刊: 集美大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: HVPE反应器 同心圆喷头 输运现象 数值模拟
• 年，卷（期）: 2010,（5）
• 页码范围: 378-383
• 分类号: TK121|TB43|TN304
• 字数: 2565字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-7405.2010.05.012

摘要

对用于制备GaN的具有同心圆喷头的HVPE(氢化物气相外延)反应器内的输运现象进行了三维数值模拟研究.在模拟计算中,分别改变总载气进口流量、同心圆喷口进口流量、重力、压强等条件,得到反应器内流场、温场、浓度场的相应变化.根据对模拟结果的分析,得出输运过程的优化条件为:尽量减小总载气进口流量,适当增大同心圆喷口的双进口流量,并降低反应室内的压强.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李晖	集美大学机械工程学院	16	82	5.0	8.0