大尺寸HVPE反应器托盘温度的数值模拟研究

• 作者: 刘鹏 左然 张国义 童玉珍 赵江
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 工学
• 关键词: HVPE反应器 数值模拟 温场
• 年，卷（期）: 2015,（7）
• 页码范围: 1849-1854
• 页数: 6页
• 分类号: TN304
• 字数: 4214字
• 语种: 中文

摘要

对大尺寸氢化物气相外延(HVPE)反应器的流场和温场进行二维数值模拟研究,旨在提高托盘表面温度和温度分布均匀性.基准模拟显示,靠近喷头的加热器对托盘温度的影响大于底部加热器,随着加热器功率增大,温度分布均匀性变差.在基准模拟的基础上,提出在反应器底部设置隔热钼屏的托盘升温方法.优化后的模拟显示,托盘温度升高约48 K,而温度均匀性变化不大.在使用4层钼屏的基础上,通过在石墨托盘内部开圆柱槽,显著提高了托盘温度分布均匀性,并使温度进一步提升约5K.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘鹏	北京大学物理学院宽禁带半导体研究中心	154	1275	17.0	33.0
3	张国义	北京大学物理学院宽禁带半导体研究中心	49	229	9.0	13.0
5	童玉珍	北京大学物理学院宽禁带半导体研究中心	16	63	5.0	7.0
7	赵江	江苏大学能源与动力工程学院	10	27	3.0	4.0
8	左然	江苏大学能源与动力工程学院	69	606	14.0	22.0