激波辅助纯钛微细群孔光刻电解试验研究

• 作者: 何铁军 刘正埙 彭昀 江一 汪炜
• 来源期刊: 电加工与模具
• 学科: 工学
• 关键词: 激波 光刻电解 钛 微细群孔
• 年，卷（期）: 2010,（1）
• 所属期刊栏目: 特辑
• 页码范围: 13-16
• 页数: 4页
• 分类号: TG662
• 字数: 2035字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1009-279X.2010.01.004

摘要

随着微机电系统(MEMS)技术的发展,近年来钛及钛合金的微细群孔加工成为国内外研究的热点.虽然光刻电解加工结合了光刻技术和电解加工两者的优点,可实现高效、高精度金属微细群孔加工.但由于钛及钛合金表面板易钝化,常规电解加工难度很大.采用有机电解液有效地解决了加工过程中的表面钝化问题.此外,为克服电解加工过程中产物难以排出造成的腐蚀不均匀等难题,进行了激波辅助纯钛微细群孔光刻电解试验研究,在厚100 μm纯钛薄板上进行了群孔加工,平均孔径为371μm,材料蚀除速率达到35 μm/min.实验结果表明,通过激波产生的瞬时压力扰动,能显著改善极间状态,有效提高加工稳定性和表面质量,尺寸一致性好.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘正埙	南京航空航天大学机电学院	59	1065	19.0	30.0
2	汪炜	南京航空航天大学机电学院	96	639	12.0	20.0
3	江一	南京航空航天大学机电学院	1	3	1.0	1.0
4	何铁军	南京航空航天大学机电学院	2	8	2.0	2.0
5	彭昀	南京航空航天大学机电学院	1	3	1.0	1.0