溶胶-凝胶SiO2减反膜的表面修饰和抗污染特性

• 作者: 刘源 李晓光 沈军
• 来源期刊: 硅酸盐学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 溶胶-凝胶 二氧化硅减反薄膜 表面修饰 抗污染性 硅烷化
• 年，卷（期）: 2010,（11）
• 页码范围: 2054-2058
• 页数: 5页
• 分类号: O484.4
• 字数: 4128字
• 语种: 中文

摘要

采用溶胶-凝胶法制备了用于高功率激光装置的SiO2减反射膜,并在室温条件下采用气相法对该薄膜进行表面修饰.结果表明:修饰后薄膜的疏水性能、激光损伤阈值均有明显提高:其在大气环境下的耐候性与普通薄膜相当,但对有机污染物的抗性明显提高;经六甲基二硅胺烷修饰、氨气氛及热处理后的薄膜表现出对有机烷类良好的抗污染性能.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	沈军	同济大学波耳固体物理研究所上海市特殊人工微结构材料与技术重点实验室	199	2285	26.0	36.0
2	李晓光	同济大学波耳固体物理研究所上海市特殊人工微结构材料与技术重点实验室	5	39	3.0	5.0
3	刘源	同济大学波耳固体物理研究所上海市特殊人工微结构材料与技术重点实验室	23	41	4.0	5.0