基于光谱型白光干涉仪的绝对距离测试研究

• 作者: 倪肖勇 刘旭 沈伟东 章岳光 薛晖 顾培夫
• 来源期刊: 浙江大学学报(工学版)
• 学科: 工学
• 关键词: 干涉计量 光谱白光干涉仪 测距 相位解包裹 光纤光谱仪
• 年，卷（期）: 2010,（2）
• 所属期刊栏目: 机械工程
• 页码范围: 393-397
• 页数: 5页
• 分类号: TH741.13
• 语种: 中文
• DOI: 10.3785/j.issn.1008-973X.2010.02.033

摘要

采用微型光纤光谱仪记录宽波段(450～900 nm)下的咣谱干涉图,提出一种解包络线的方法来提取相位主值,同时由总光程差与棱镜折射率成正比的关系进行相位解包裹.由线性关系的斜率和截距分别求解得到棱镜的等效厚度和两参考镜之间的绝对距离.利用该方法测试了参考镜在不同位置处的距离,结果与千分尺数值之间的偏差小于1%,同时获得了99.9%的线性度.还测试了BK7玻璃的厚度,与其他方法相比,其精度达0.21%.分析了影响测试精度的因素,并对测距范围进行了讨论.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	沈伟东		39	296	8.0	16.0
2	顾培夫		141	1761	23.0	34.0
3	刘旭		214	1718	22.0	32.0
4	章岳光		40	424	12.0	20.0
5	薛晖		6	59	4.0	6.0
6	倪肖勇		1	0	0.0	0.0