长光栅测量系统误差修正方法

• 作者: 包玲 左勇 徐晓波 束小梅
• 来源期刊: 计量学报
• 学科: 工学
• 关键词: 计量学 长光栅 误差 修正方法 光电显微镜 激光波长 线纹尺
• 年，卷（期）: 2010,（z2）
• 所属期刊栏目: 几何量计量
• 页码范围: 187-190
• 分类号: TB92
• 字数: 2505字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-1158.2010.z2.45

摘要

针对长光栅测量系统的误差特点提出了一种实用的综合修正方法.通过光电显微镜、线纹尺、数据拟合工具将光栅位移长度溯源到激光波长.提出的误差修正方法简单、实用、修正精度高.对于三坐标测量机、测长机等精密线位移平台都具有借鉴和参考价值.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	左勇	中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所	7	23	3.0	4.0
2	徐晓波	中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所	3	12	2.0	3.0
3	束小梅	中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所	4	14	2.0	3.0
4	包玲		1	2	1.0	1.0