光栅纳米测量中的系统误差修正技术研究

• 作者: 余文新 胡小唐 邹自强
• 来源期刊: 计量学报
• 学科: 工学
• 关键词: 光栅 纳米测量 系统误差 细分误差 误差修正
• 年，卷（期）: 2002,（2）
• 页码范围: 101-105
• 页数: 5页
• 分类号: TH753.6
• 字数: 4939字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-1158.2002.02.006

摘要

详细研究了光栅纳米测量系统的误差特性,以及利用激光干涉仪对高精度光栅测量系统的系统误差进行检测、并在信号处理中予以补偿和修正的方法.实验表明,通过这种系统误差修正方法对周期累计误差和细分误差同时进行修正,能够大幅度地将计量光栅系统的测量准确度从微米或亚微米量级提高到纳米级水平,以实现光栅纳米测量.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	胡小唐	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	205	1913	21.0	33.0
2	余文新	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	4	123	4.0	4.0
3	邹自强		5	137	5.0	5.0