连续离子层吸附反应法制备超薄功能膜及应用

• 作者: 吴宜勇 孙承月 石亚平 高燕
• 来源期刊: 宇航材料工艺
• 学科: 航空航天
• 关键词: 连续离子层吸附反应法 超薄 功能膜 工艺参数
• 年，卷（期）: 2010,（4）
• 页码范围: 5-9
• 分类号: V2
• 字数: 5190字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-2330.2010.04.002

摘要

阐述了液相法中制备超薄功能膜的新方法--连续离子层吸附反应法(Successive Ionic Layer Adsorption and Reaction, SILAR).探究了它的薄膜生长机理、工艺参数影响以及应用现状,指出了尚需深入研究的问题.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	石亚平	哈尔滨工业大学材料科学与工程学院	13	18	2.0	4.0
3	吴宜勇	哈尔滨工业大学材料科学与工程学院	14	126	7.0	11.0
4	孙承月	哈尔滨工业大学材料科学与工程学院	3	12	1.0	3.0
7	高燕		1	12	1.0	1.0