微流量传感器及其在压电泵闭环控制中的应用

• 作者: 刘亚欣 曲东升 杨晓亚 荣伟彬 陈立国
• 来源期刊: 中北大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 流量传感器 压电泵 MEMS 模糊PID
• 年，卷（期）: 2010,（3）
• 页码范围: 306-312
• 分类号: TP212
• 字数: 4228字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-3193.2010.03.020

摘要

在现有压电泵研制基础上,开发了一种基于压差原理的微流量传感器并将其集成到压电泵闭环控制系统中,实现了压电泵输出试剂体积精确闭环控制.通过理论计算,指出了传感器的设计原理和传感器芯片设计原则,进而完成了传感器的封装;为方便观察传感器检测的流量信号,设计了传感器信号的显示模块;通过实验实现了传感器信号的标定和性能的测试;最后搭建压电泵闭环控制系统,并引入了模糊PID控制算法进行精确体积试剂分配控制,通过试剂分配测试实验表明,当期望分配体积100 μL时该系统试剂分配偏差小于0.1μL,具有较好的精度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	荣伟彬	哈尔滨工业大学机器人技术与系统国家重点实验室	98	1491	23.0	33.0
2	陈立国	哈尔滨工业大学机器人技术与系统国家重点实验室	43	626	14.0	23.0
3	曲东升	哈尔滨工业大学机器人技术与系统国家重点实验室	47	1041	20.0	31.0
4	杨晓亚	哈尔滨工业大学机器人技术与系统国家重点实验室	1	4	1.0	1.0
5	刘亚欣	哈尔滨工业大学机器人技术与系统国家重点实验室	17	135	7.0	11.0