一种金属桥冲击片雷管集成制造方法

• 作者: 席仕伟 张茜梅 施志贵 王亚军 郭菲
• 来源期刊: 火工品
• 关键词: 冲击片雷管 MEMS 集成 金属桥 SOI
• 年，卷（期）: 2010,（3）
• 页码范围: 1-3
• 分类号: TJ45+.2
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-1480.2010.03.001

摘要

重点阐述了使用MEMS工艺将冲击片雷管的金属桥、反射片、飞片和加速膛集成为一体的制造方法.该方法较之2005年报道的硅集成冲击片雷管制造方法有两方面改进:一是采用金属桥替代多晶硅桥,从而使雷管作用时间缩短到2ms以内;二是使用硅-氧化硅-硅结构(SOI)材料代替单晶硅,从而使硅飞片厚度误差控制在±3mm以内.试验结果表明改进后的金属桥冲击片雷管在3.14kA电流下能够起爆HNS-IV炸药.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王亚军	中国工程物理研究院电子工程研究所	33	155	7.0	10.0
2	张茜梅	中国工程物理研究院电子工程研究所	8	29	3.0	5.0
3	席仕伟	中国工程物理研究院电子工程研究所	12	59	4.0	7.0
4	施志贵	中国工程物理研究院电子工程研究所	20	121	7.0	10.0
5	郭菲	中国工程物理研究院化工材料研究所	15	66	5.0	8.0