大口径光学镜面超精密加工机床的研制

• 作者: 张向阳 李勇 谢晓丹
• 来源期刊: 纳米技术与精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 光学镜面 超精密加工机床 纳米切削 气浮电主轴
• 年，卷（期）: 2010,（5）
• 页码范围: 428-432
• 分类号: TG502|TM506.6
• 字数: 2830字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-6030.2010.05.009

摘要

设计制作了最大加工直径为φ880 mm的光学镜面超精密加工机床.该机床采用大理石床身、4轴数控联动、全气浮支承和零传动结构,以实现光学球、非球及自由形面的超精密切削.介绍了机床整体结构特点和性能参数,描述了气浮电主轴、气浮直线导轨、直驱回转工作台等关键技术及部件.该机床主轴回转精度0.05 μm,直线伺服轴分辨力1.25 nm,回转工作台角位移分辨力0.009″.在硬铝和无氧铜材料上分别加工出了面形精度0.5 μm、表面粗糙度5 nm的φ400 mm球面和面形精度0.5 μm/φ100 mm、表面粗糙度8 nm的非球形面.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李勇	清华大学摩擦学国家重点实验室	207	2161	23.0	35.0
2	谢晓丹	清华大学摩擦学国家重点实验室	6	78	3.0	6.0
3	张向阳		1	22	1.0	1.0