金刚石砂轮V形尖端的数控对磨微细修整技术

• 作者: 蒋均海 谢晋 谭廷武 郑佳华 黄少林
• 来源期刊: 金刚石与磨料磨具工程
• 学科: 工学
• 关键词: 金刚石砂轮 V形尖端 微细修整 微沟槽加工
• 年，卷（期）: 2010,（5）
• 页码范围: 1-5,10
• 分类号: TQ164|TG74
• 字数: 3904字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-852X.2010.05.001

摘要

针对金刚石砂轮V形尖端的微细修整困难的问题,开发出一种对磨成型的V形尖端修整技术.在数控修整中,砂轮作V形的直线插补运动与修整工具对磨,逐渐被修整成V形尖端.本实验中修整工具分别是#600和#180绿碳化硅(GC)油石,砂轮分别为SD 400和SD 600金刚石砂轮.实验结果表明,较细粒度的修整工具不仅可以将砂轮V形尖端修整出更小的圆弧半径,而且也能够将微小磨粒修锐得更锋利,从而使加工的单晶硅微沟槽形状更加整齐.此外,采用修整后的圆弧半径小于20 μm的SD 600金刚石砂轮V形尖端可以实现光纤石英微阵列沟槽的微细加工,也可以在SiC陶瓷和WC合金基板上加工出微锥塔阵列空间的功能表面.因此,数控对磨在位修整的工艺可以用于金刚石砂轮V形尖端的微细修整,实现硬脆性基板的微细磨削加工.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	谢晋	华南理工大学机械与汽车工程学院	33	406	12.0	19.0
2	郑佳华	华南理工大学机械与汽车工程学院	2	30	2.0	2.0
3	谭廷武	华南理工大学机械与汽车工程学院	1	21	1.0	1.0
4	蒋均海	华南理工大学机械与汽车工程学院	1	21	1.0	1.0
5	黄少林	华南理工大学机械与汽车工程学院	1	21	1.0	1.0