微型光学陀螺用光波导环形谐振腔的优化设计与制备

• 作者: 厉宝增 石邦任 赵猛 郭丽君 陈晨
• 来源期刊: 兵工学报
• 学科: 工学
• 关键词: 光学 集成光学 环形谐振腔 光波导 微型光学陀螺
• 年，卷（期）: 2010,（11）
• 页码范围: 1444-1447
• 分类号: TN629.1
• 字数: 2139字
• 语种: 中文

摘要

光波导环形谐振腔是微型光学陀螺的核心敏感部件,其性能直接影响陀螺系统的性能,是此种陀螺设计和制造的关键.利用广角有限差分光束传播法(WA-BPM)对二氧化硅光波导环形谐振腔进行了优化设计;在优化设计的基础上,在硅衬底上利用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)法制备了掺GeO2的二氧化硅光波导环形谐振腔芯片,并通过了实验测试,其测量精细度可达16.7,可为今后集成光学陀螺的小型化和高灵敏度提供理论参考.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	厉宝增	长春理工大学理学院	7	53	1.0	7.0
2	石邦任	长春理工大学理学院	20	72	5.0	7.0
3	郭丽君	长春理工大学理学院	11	11	3.0	3.0
4	赵猛	长春理工大学理学院	6	24	3.0	4.0
5	陈晨	长春理工大学理学院	13	15	3.0	3.0