二氧化硅微球场发射环境扫描电镜形貌测试条件研究

• 作者: 桂柳成 程蕾 胡坤 邹华红
• 来源期刊: 广西科学院学报
• 学科: 化学
• 关键词: 图像质量 二氧化硅微球 镀膜 加速电压 束斑变化 扫描速度 工作距离
• 年，卷（期）: 2010,（3）
• 页码范围: 349-353
• 分类号: O649
• 字数: 2773字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-7378.2010.03.049

摘要

以二氧化硅微球作为研究对象,室温下采用场发射环境扫描电镜(FEI Quanta 200),选用二次电子(SE)成像进行SEM观察.分别考察镀膜处理、加速电压、束斑变化、扫描速度、工作距离等参数对图像质量的影响.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	胡坤	药用资源化学与药物分子工程教育部重点实验室广西师范大学化学化工学院	3	0	0.0	0.0
2	桂柳成	药用资源化学与药物分子工程教育部重点实验室广西师范大学化学化工学院	2	1	1.0	1.0
3	邹华红	药用资源化学与药物分子工程教育部重点实验室广西师范大学化学化工学院	1	0	0.0	0.0
4	程蕾	药用资源化学与药物分子工程教育部重点实验室广西师范大学化学化工学院	1	0	0.0	0.0