CVD法制备高纯钛形核过程动力学分析

• 作者: 宋建敏 方敏 陈肖虎 韩涛
• 来源期刊: 轻金属
• 学科: 工学
• 关键词: CVD 高纯钛 动力学
• 年，卷（期）: 2010,（2）
• 所属期刊栏目: 镁钛工业硅
• 页码范围: 55-58
• 分类号: TF823
• 字数: 3679字
• 语种: 中文

摘要

实验用了化学气相沉积(CVD)法制备高纯钦,对高纯钛制备中的形核过程进行了热力学和动力学分析.实验得出:沉积区温度应控制在1350K～1450K.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈肖虎	贵州大学材料科学与冶金工程学院	61	218	9.0	12.0
2	韩涛	贵州大学材料科学与冶金工程学院	17	74	4.0	8.0
3	宋建敏	大连交通大学材料科学与材料加工工程学院	5	29	3.0	5.0
4	方敏	贵州大学材料科学与冶金工程学院	4	12	2.0	3.0