晶片电阻率测试系统校准方法

• 作者: 佟丽英 石雅珍
• 来源期刊: 工业计量
• 学科: 工学
• 关键词: 电阻率 校准 测量不确定度
• 年，卷（期）: 2010,（3）
• 所属期刊栏目: 计量测试与检定
• 页码范围: 4-6
• 分类号: TB971
• 字数: 2137字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-1183.2010.03.002

摘要

文章对晶片电阻率测试系统的原理、结构及计量特性进行了阐述,给出了校准晶片电阻率测试系统的方法,并对本系统测量结果不确定度进行了评定.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	佟丽英	中国电子科技集团公司第四十六研究所	19	22	3.0	3.0
2	石雅珍	中国电子科技集团公司第四十六研究所	4	3	1.0	1.0