单晶热释电探测器混合集成制造方法研究

• 作者: 刘卫国 金娜
• 来源期刊: 应用光学
• 学科: 工学
• 关键词: 各向异性导电膜 多传感器 混合集成 热释电探测器
• 年，卷（期）: 2010,（2）
• 所属期刊栏目: 光学元件与制造
• 页码范围: 313-316
• 页数: 4页
• 分类号: TN215
• 字数: 1990字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-2082.2010.02.033

摘要

在比较几种探测器集成制造方法的基础上,提出采用各向异性导电膜作为电信号互联的手段,实现热释电探测器与信号处理电路的混合集成,从而演示了一种兼容性良好的集成化多传感器制造方法.对单晶钽酸锂热释电探测器采取机械研磨减薄获得其薄膜,利用3M的5552R各向异性导电膜,实现了探测器与信号读出电路的互联.对探测器的测试表明:机械研磨减薄获得的钽酸锂薄膜表现出与晶体接近的热释电特性,探测器表现出良好的绝热性质和动态响应特性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	金娜	西安工业大学光电微系统研究所	9	42	2.0	6.0
2	刘卫国	西安工业大学光电微系统研究所	112	575	12.0	17.0