干涉仪标准面非旋转对称误差的消除

• 作者: 乌兰图雅 徐晨 陈磊
• 来源期刊: 计量学报
• 学科: 工学
• 关键词: 计量学 非旋转对称误差 Zernike多项式拟合 旋转不变性 绝对检验
• 年，卷（期）: 2010,（3）
• 页码范围: 219-222
• 分类号: TB96
• 字数: 2978字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-1158.2010.03.06

摘要

提出了一种测量干涉仪参考镜非旋转对称面形误差的方法.测量波面用36项Zernike多项式来表示,利用Zernike多项式形式的旋转不变性,求解出参考面非旋转对称误差的Zernike多项式系数.测得了Zygo干涉仪参考镜不同装夹应力下的非旋转对称面形误差分布.比对了该方法和N次相对旋转测量法对同一参考面的测量结果,符合较好.分析了测量误差.该方法仅需两次测量,可有效消除干涉仪标准面低频非旋转对称面形误差.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈磊	南京理工大学电子工程与光电技术学院	133	991	16.0	23.0
2	徐晨	南京理工大学电子工程与光电技术学院	7	77	5.0	7.0
3	乌兰图雅	南京理工大学电子工程与光电技术学院	6	31	3.0	5.0