旋涡式非接触硅片夹持装置的流动计算及试验研究

• 作者: 傅新 邹俊 郭丽媛 阮晓东
• 来源期刊: 机械工程学报
• 学科: 工学
• 关键词: 旋涡流 非接触式夹持 硅片夹持 真空吸盘
• 年，卷（期）: 2010,（16）
• 页码范围: 189-194
• 分类号: TH137
• 字数: 4886字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3901/JME.2010.16.189

摘要

为实现硅片的非接触式夹持,减少生产过程中因夹持装置与硅片表面接触导致的产品缺陷,提出一种新的硅片夹持方法,该方法利用空气动力学原理,在半封闭的流道中诱发旋涡流,借助于旋涡中心的负压力、空气溢出的正压力和硅片自重三者之间的动态平衡,实现硅片的非接触夹持.首先对此悬浮原理进行理论分析,在理论分析的基础上设计出可实现夹持功能的双进气口真空吸盘,采用RNG k -ε湍流模型对吸盘内完全气体的正压旋转流场进行数值模拟,对吸盘吸附力进行试验研究.结果表明:利用旋涡式真空吸盘可以实现非接触式夹持过程,吸盘对硅片产生的吸附力大小与工作距离、进气压强和吸盘结构参数等密切相关.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	傅新	浙江大学流体传动及控制国家重点实验室	119	2269	24.0	43.0
2	邹俊	浙江大学流体传动及控制国家重点实验室	39	371	10.0	18.0
3	阮晓东	浙江大学流体传动及控制国家重点实验室	28	360	11.0	18.0
4	郭丽媛	浙江大学流体传动及控制国家重点实验室	1	14	1.0	1.0