阳极氧化制备氧化钛薄膜原理剖析

• 作者: 廉冰娴 许兵
• 来源期刊: 表面技术
• 学科: 工学
• 关键词: 阳极氧化 氧化薄膜 厚度 原理剖析 模拟
• 年，卷（期）: 2010,（4）
• 所属期刊栏目: 试验研究
• 页码范围: 45-46,82
• 分类号: TG174.44
• 字数: 1795字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-3660.2010.04.014

摘要

通过实验制备了几种不同厚度的氧化钛薄膜,从膜的形成机理及氧化着色原理,得出薄膜厚度随电压增加而增加,且其增加速率大致在2.5 nm/V.重点剖析了氧化钛薄膜的氧化着色原理,并通过实验模拟分析了氧化膜形成机理,为后续研究提供了参考.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	许兵		13	10	2.0	3.0
2	廉冰娴		15	14	2.0	3.0