采用频域滤波提高数字相位测量轮廓术的测量精度

• 作者: 何宇航 曹益平 程旭升 钟立俊
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 物理学
• 关键词: 测量 测量精度 频域滤波 相位测量轮廓术 高次谐波 相位提取
• 年，卷（期）: 2010,（1）
• 所属期刊栏目: 测量技术
• 页码范围: 220-224
• 页数: 5页
• 分类号: O436
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL20103701.0220

摘要

提出了一种采用频域滤波优化条纹来提高数字相位测量轮廓术(PMP)的测量精度的方法.由于数字投影仪和CCD的数字化特征,CCD获取的正弦条纹会出现多次谐波.而相位测量轮廓术的某些算法对高次谐波敏感使得测量精度低.通过设计滤波器对条纹在频域内进行滤波,对条纹的正弦性进行优化,减弱高次谐波对算法的影响,可以提高系统的测量精度.实验证明,所提出的方法将系统的测量精度提高了3倍,滤波操作完全由计算机自动完成.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	曹益平		136	874	15.0	24.0
2	钟立俊		4	36	3.0	4.0
3	何宇航		7	6	1.0	2.0
4	程旭升		4	13	2.0	3.0