激光诱导等离子体加工石英微通道的研究

• 作者: 冯彩玲 王海旭 秦水介
• 来源期刊: 激光技术
• 学科: 工学
• 关键词: 激光技术 微通道 激光诱导等离子体 熔融石英
• 年，卷（期）: 2010,（4）
• 所属期刊栏目: 激光与光电子技术应用
• 页码范围: 433-435,451
• 分类号: TG664
• 字数: 1989字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-3806.2010.04.001

摘要

为了在熔融石英基体内制作出高质量的微通道,分别用调Q的Nd∶ YAG脉冲激光器输出的基频光(1064nm)和经过倍频晶体后的混合光(倍频光为70%,基频光为30%)辐照熔融石英玻璃,通过诱导等离子体加工微通道,并初步分析了基频光与混合光加工产生差别的原因.结果表明,用混合光加工的通道内壁较光滑,加工速度快,所加工的通道最深达8mm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	秦水介	贵州大学贵州省光电子技术及应用重点实验室	56	190	6.0	11.0
2	王海旭	贵州大学贵州省光电子技术及应用重点实验室	8	29	3.0	5.0
3	冯彩玲	贵州大学贵州省光电子技术及应用重点实验室	2	14	2.0	2.0