高温DC SQUID探针显微镜在半导体样品检测中的应用

• 作者: 中谷悦起 孔祥燕 系崎秀夫
• 来源期刊: 低温与超导
• 学科: 物理学
• 关键词: SQUID 探针显微镜 有限元分析 Flux guide 半导体
• 年，卷（期）: 2010,（11）
• 页码范围: 13-16,20
• 分类号: O51
• 字数: 2580字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-7100.2010.11.004

摘要

扫描SQUID探针显微镜成像技术在半导体样品检测中得到了广泛应用.利用有限元分析方法对作为flux guide的探针结构和SQUID的尺寸等参数对于系统空间分辨率和检测灵敏度的影响进行了仿真分析, 并研究了探针周围的屏蔽效果.利用建立的SQUID探针显微镜系统成功检测到太阳能电池中多晶硅的细微结构, 并通过检测互相垂直的两个方向的磁场, 对太阳能电池中光致电流矢量分布进行了反演重构.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孔祥燕	中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室	12	19	3.0	4.0