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QWR超导腔铌溅射工艺研究进展报告
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文献信息
| 篇名 | QWR超导腔铌溅射工艺研究进展报告 | ||
| 来源期刊 | 中国原子能科学研究院年报 | 学科 | 工学 |
| 关键词 | 溅射工艺 超导腔 工艺线 铌 均匀性 溅射膜 | ||
| 年，卷（期） | 2010,（1） | 所属期刊栏目 | |
| 研究方向 | 页码范围 | 140-142 | |
| 页数 | 3页 | 分类号 | TP333.3 |
| 字数 | 语种 | 中文 | |
| DOI | |||
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研究主题发展历程
节点文献
溅射工艺
超导腔
工艺线
铌
均匀性
溅射膜
研究起点
研究来源
研究分支
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引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
中国原子能科学研究院年报
主办单位：
中国原子能科学研究院
出版周期：
年刊
ISSN：
CN：
开本：
大16开
出版地：
北京275信箱65分箱
邮发代号：
创刊时间：
1978
语种：
chi
出版文献量（篇）
6253
总下载数（次）
51
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