微加速度计温度特性及敏感元件自恒温方案

• 来源期刊: 清华大学学报(自然科学版)
• 学科: 工学
• 关键词: 梳齿式 微加速度计 芯片自恒温系统 温度补偿
• 年，卷（期）: 2010,（7）
• 所属期刊栏目: 精密仪器与机械学
• 页码范围: 1013-1017
• 页数: 5页
• 分类号: TH824
• 语种: 中文

摘要

温度是影响微加速度计精度的一个相当重要的因素.该文首先分析了微加速度计闭环系统各部分的温度特性对系统的影响;接着,设计实验分别测试各个部分的温度特性,确定出敏感元件的温度特性是系统温漂的主要来源;最后,设计了敏感元件芯片自恒温系统,并进行温度补偿.该方案在增加少量加热功率的基础上大大提高了系统的温度特性.实验结果表明:温控后,在增加760 mW加热功率的情况下,能保证微加速度计零偏温漂和二次补偿后零偏稳定性,分别从2.061 mgn/℃和2.269 mgn提高到0.199 mgn/℃和0.129 mgn.