高精度激光直写数字伺服滤波器的设计

• 作者: 叶玉堂 吴云峰 杨泽光
• 来源期刊: 电子设计工程
• 学科: 工学
• 关键词: 激光直写 数字伺服滤波器 前馈补偿 伺服三环PID
• 年，卷（期）: 2010,（10）
• 页码范围: 61-63
• 分类号: TP273
• 字数: 2330字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1674-6236.2010.10.017

摘要

为提高激光直写控制系统的定位精度、定位时间和系统响应度,设计了一种数字伺服滤波器.该滤波器以伺服系统的三环PID控制原理为基础,并在设计中加入了具有实际问题性的前馈补偿模块;建立了以TMS3202812处理器组成的数字伺服滤波器模型;并对该模型进行了模拟仿真分析,然后移植到处理器中;最后通过验证,提高了位置定位和速度稳定精度.实验结果表明,整个系统输入与输出时差小于100 Ls;无噪音无振荡,效果很好;定位精度误差控制±1μm范围内.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴云峰	电子科技大学光电信息学院	106	653	13.0	18.0
2	叶玉堂	电子科技大学光电信息学院	170	1471	17.0	30.0
3	杨泽光	电子科技大学光电信息学院	1	2	1.0	1.0