高速高精度SPM研究现状及发展趋势

• 作者: 初明璋 林云生 殷伯华 陈代谢 韩立
• 来源期刊: 现代科学仪器
• 学科: 工学
• 关键词: 扫描探针显微镜 高速度 高精度
• 年，卷（期）: 2010,（1）
• 所属期刊栏目: 综述与评论
• 页码范围: 109-112
• 页数: 4页
• 分类号: TH742|TN16
• 语种: 中文

摘要

如何实现高速高精度的扫描探针显微镜(SPM)扫描已经成为国际上研究的一个热点问题,扫描器动态响应性能的好坏、控制算法的优化以及电子学系统的设计等,都将影响SPM的扫描速度和精度.本文介绍了SPM在半导体工业检测和生物检测等应用中的不足,归纳了国际上对高速SPM研究的主要研究成果,分析了各个研究方法的特点和不足,对实现高速SPM扫描的主要问题进行了概括总结.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	殷伯华	中国科学院电工研究所微纳加工研究部	24	94	6.0	8.0
2	韩立	中国科学院电工研究所微纳加工研究部	98	376	9.0	13.0
3	初明璋	中国科学院电工研究所微纳加工研究部	15	85	6.0	8.0
4	林云生	中国科学院电工研究所微纳加工研究部	21	148	8.0	11.0
5	陈代谢	中国科学院电工研究所微纳加工研究部	12	55	4.0	7.0