准分子真空紫外辐射在材料加工中的研究与应用

• 作者: 刘安华 李建雄
• 来源期刊: 化工新型材料
• 学科: 工学
• 关键词: 准分子 真空紫外光 光化学 表面处理
• 年，卷（期）: 2010,（3）
• 所属期刊栏目: 综述与专论
• 页码范围: 34-37,60
• 页数: 5页
• 分类号: TB3
• 字数: 6473字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-3536.2010.03.012

摘要

真空紫外辐射有高于共价键键能的光子能量,可在室温下激起化学反应.自上世纪80年代,基于稀有气体介质阻挡放电的准分子真空紫外光灯面世以来,真空紫外光源有了很大的发展,商业化的准分子真空紫外光灯已有上百mw/cm~2的光能输出,品种也不断增加.准分子真空紫外光灯强大的激发化学反应的能力已在材料科学、化学反应工程、生物医学等方面开拓了许多新的研究课题,并得到日益增多的实际应用.近20年,每年关于准分子真空紫外辐射材料加工的研究报道急剧增加,本文将简要介绍DBD准分子紫外光源的特点及其在材料加工中的研究和应用,包括无机薄膜制备、半导体材料氧化、材料表面清洗、过渡金属化合物还原、高分子合成和聚合物表面改性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘安华	华南理工大学材料科学与工程学院	92	1098	18.0	28.0
2	李建雄	华南理工大学材料科学与工程学院	33	156	7.0	11.0