GCr15钢表面钽沉积及氮离子注入的磨损性能

• 作者: 唐光泽 李忠文 马欣新
• 来源期刊: 稀有金属材料与工程
• 学科: 工学
• 关键词: 磁控溅射沉积 氮离子注入 摩擦系数
• 年，卷（期）: 2010,（z1）
• 页码范围: 77-80
• 分类号: TG142.33
• 字数: 2701字
• 语种: 中文

摘要

利用磁控溅射法在GCr15轴承钢表面沉积厚约100 nm的钽膜,然后对其进行氮等离子体基离子注入,注入能量为50 keV,利用GXRD分析改性层的组成相结构,用Φ6 mm的氮化硅球作为对磨件测试处理后试样的磨损性能,并利用SEM结合EDX观测磨痕的形貌及成分,探讨其磨损机制.结果表明,改性层含有钽的氮化物,注入剂量较低时,化合物是TaN0.1,随着注入剂量增加,形成TaN;GCr15钢经过处理后能够提高磨损性能,摩擦系数有所降低:表面经过处理后,摩擦系数由未处理前的0.8～1下降至0.2～0.3,同时磨损量大幅度降低,降低幅度达到88%.注入层的磨损机制主要以磨粒磨损为主,兼有粘着磨损.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	马欣新		57	307	10.0	14.0
2	唐光泽		37	150	7.0	9.0
3	李忠文		2	13	2.0	2.0