感应耦合等离子体二维模型与实验对比

• 作者: 季林红 朱煜 程嘉
• 来源期刊: 清华大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 刻蚀 感应耦合等离子体 电子数密度 电子温度 仿真
• 年，卷（期）: 2010,（2）
• 所属期刊栏目: 精密仪器与机械学
• 页码范围: 250-253
• 页数: 4页
• 分类号: TN405.98|TN305.7
• 语种: 中文

摘要

为研究感应耦合等离子体(inductively coupled plasma,ICP)的建模方法,针对GECRC(gaseous electronics conference radio frequency reference cell)标准等离子体实验平台,利用商业软件CFD-ACE+中的等离子体、电磁场及流体等模块建立了二维流体ICP模型.仿真结果与平台在ICP模式下的放电实验进行了对比分析,在等离子体参数的量级与变化趋势上均取得了较好的一致性.同时对比发现,该模型与Bukowski等(J.Appl.Phys.,1996,80(5):2614)开发的模型的仿真精度处于相同水平,均可定性表征ICP等离子体的分布特性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	朱煜		99	1312	17.0	33.0
2	季林红		126	1965	24.0	40.0
3	程嘉		9	24	2.0	4.0