Zr1-xSixN纳米涂层的制备及其力学性能

• 作者: 孙鹏 朱芳萍 王周成 祁正兵 黄若轩
• 来源期刊: 硅酸盐学报
• 学科: 工学
• 关键词: 氮化硅锆涂层 硬度 摩擦因数 磨损性能
• 年，卷（期）: 2010,（10）
• 页码范围: 1886-1890
• 页数: 5页
• 分类号: TG174.444
• 语种: 中文

摘要

采用直流与射频共溅射技术制备Zr1-xSixN纳米涂层.通过改变Si靶溅射功率控制涂层中Si含量,研究了不同Si含量对Zr1-xSixN涂层的物相结构、晶粒尺寸、硬度和摩擦磨损性能的影响,探索了Zr1-xSixN纳米涂层的致硬机理.结果表明:Si的掺入影响Zr1-xSixN涂层的择优取向和相结构,随着Zr1-xSixN涂层中Si含量的增加,涂层截面的形貌由柱状晶转变为非柱状等轴晶,其结构的变化为:固溶体→nc-ZrN/α-Si3N4结构→非晶结构.涂层的晶粒尺寸在12～30 nm之间.对于Si含量低于3.14%(摩尔分数)的Zr1-xSixN涂层,由于固溶强化作用使硬度随si含量增加而增大,对于Si含量高于3.14%的Zr1-xSixN涂层,通过晶粒的转动和原子在晶界的移动能产生塑性形变,提高了涂层塑性形变能力,使得硬度下降.Zr1-xSixN涂层的耐磨损性能随Si含量的增加而增强.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王周成	厦门大学化学化工学院	27	381	11.0	18.0
2	孙鹏	厦门大学化学化工学院	15	34	4.0	5.0
3	黄若轩	厦门大学材料学院	3	24	3.0	3.0
4	朱芳萍	厦门大学化学化工学院	3	24	3.0	3.0
5	祁正兵	厦门大学化学化工学院	3	24	3.0	3.0