高功率激光器光学元件镀膜前后评价参数探讨

• 作者: 方明 易葵 胡达飞 邵淑英 齐红基
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 工学
• 关键词: 表面光学 表面形貌 峰谷值 均方根 均方根梯度 功率谱密度
• 年，卷（期）: 2010,（2）
• 所属期刊栏目: 薄膜
• 页码范围: 572-576
• 页数: 5页
• 分类号: TN248.1
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL20103702.0572

摘要

利用ZYGO Mark Ⅲ-GPI干涉仪对120 mm×88 mm元件镀膜前后进行了面形测量,获得了峰谷值(PV)和均方根梯度(GRMS),并对镀膜前后的PV,GRMS值进行了比较,发现镀膜后PV,GRMS值分别有所增加,同时对两者进行了线性拟合,结果表明两者在一定程度上存在着线性关系,并从理论上进行了模拟论证.同时对个别样品进行了功率谱密度(PSD)分析,发现镀膜后PSD曲线较镀膜前有所升高,这与基片的抛光程度以及镀膜过程有着密切联系.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	方明	中国科学院上海光学精密机械研究所	23	170	8.0	12.0
2	易葵	中国科学院上海光学精密机械研究所	67	518	14.0	18.0
3	齐红基	中国科学院上海光学精密机械研究所	40	299	11.0	16.0
4	邵淑英	中国科学院上海光学精密机械研究所	18	309	9.0	17.0
5	胡达飞	中国科学院上海光学精密机械研究所	1	0	0.0	0.0