大气压微波等离子体炬的仿真设计与实验

• 作者: 张庆 张贵新 王淑敏 王黎明
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 物理学
• 关键词: 微波等离子体炬 矩形波导 大气压 开放式运行
• 年，卷（期）: 2010,（2）
• 所属期刊栏目: ICF与激光等离子体
• 页码范围: 315-318
• 页数: 4页
• 分类号: O531
• 字数: 2924字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/HPLPB20102202.0315

摘要

设计了一个低成本、高稳定性的基于BJ22矩形波导的微波等离子体炬源.整个系统由1～10 Kw主频2.45 GHz的磁控管微波功率源、环形器、调谐器和微波反应腔体组成.通过特殊设计的调谐装置,在气体喷嘴处产生高幅值的电场强度,使工作气体电离形成大气压开放式微波等离子体炬.对影响电场强度的几个关键因素进行了仿真,得出各个参数对场强的影响规律;根据仿真参数设计了微波反应腔体,该系统可以在大气压下激发和维持开放的稳定氩气、氦气、氮气和空气等离子体炬.对等离子体炬的基本特性和基本参数进行了研究,验证了设计参数的正确性,讨论了其可扩展性及潜在的工业应用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王黎明	清华大学电机工程与应用电子技术系	268	4672	36.0	52.0
2	张贵新	清华大学电机工程与应用电子技术系	76	1111	16.0	30.0
3	张庆	清华大学电机工程与应用电子技术系	10	184	7.0	10.0
4	王淑敏	清华大学电机工程与应用电子技术系	3	38	3.0	3.0