微平面接触分离中弯月面力的计算

• 作者: 刘俊铭 刘思思 张朝辉
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 微机电系统 黏着力 表面能 弯月面力
• 年，卷（期）: 2010,（10）
• 页码范围: 6902-6907
• 分类号: O4
• 语种: 中文

摘要

微平面间黏着力对微机电系统(MEMS)非常重要,常是决定其能量损耗乃至寿命长短的最主要因素.MEMS中的黏着力主要来源之一就是介于两互相接触平面间的弯月面力.弯月面力主要取决于相互接触的两平面间形成的弯月面形状.本文通过分析两微小平面在分离过程中弯月面形状的变化,得到在不同表面亲水/疏水性能、初始液面高度、分离距离等条件下的弯月面形状,计算得出在不同初始条件下断裂高度和弯月面力的数值以及随之变化的规律,为MEMS的性能分析和寿命计算提供依据.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张朝辉	北京交通大学机械与电子控制工程学院	30	292	11.0	16.0
2	刘思思	北京交通大学机械与电子控制工程学院	8	85	6.0	8.0
3	刘俊铭	北京交通大学机械与电子控制工程学院	2	37	2.0	2.0