基于多学科优化的大口径光学元件表面洁净度检测系统

• 作者: 李冬英 李梦奇 谢志江
• 来源期刊: 中国机械工程
• 关键词: 多学科优化 洁净度检测 光学元件 表面洁净度
• 年，卷（期）: 2010,（23）
• 页码范围: 2839-2842,2851
• 页数: 5页
• 分类号: TH74|TG84
• 语种: 中文

摘要

基于机器视觉的图像处理方法突破了检测区域的尺寸限制,能满足大口径光学元件表面洁净度检测的需要,但存在光、机、电耦合问题.采用多学科设计优化方法处理学科间的耦合关系,建立了学科间耦合关系和学科耦合分析模型,实现了学科协调;分析了光学系统设计、运动系统设计、结构设计、图像拼接、图像处理和洁净度计算等多学科子系统实现的关键点,建立了满足检测要求的检测系统.