准分子激光技术发展

• 作者: 余吟山 方晓东 梁勖 游利兵
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 工学
• 关键词: 激光器 准分子激光技术 放电激励 光刻
• 年，卷（期）: 2010,（9）
• 页码范围: 2253-2270
• 页数: 18页
• 分类号: TN248.2
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL20103709.2253

摘要

介绍了准分子的基本能级结构、光谱特性及产生激光的激励方式.简要回顾了准分子激光及实用准分子器件的发展历史.着重阐述了放电激励准分子器件的相关技术,如大能量与大功率技术、高重复频率技术、光束控制技术和激光电源技术等.分析了准分子激光光刻应用及近期技术发展,介绍了准分子激光在工业、医疗和生产领域的应用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	余吟山	中国科学院等离子体物理研究所	29	165	9.0	11.0
2	方晓东	中国科学院等离子体物理研究所	73	301	9.0	13.0
3	游利兵	中国科学院等离子体物理研究所	26	135	8.0	10.0
4	梁勖	中国科学院等离子体物理研究所	27	113	6.0	9.0