柔性变栅距光栅角位移传感器的精度分析与工艺实现

• 作者: 包艳 李秉实 杨德兴 王东辉 郑普超
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 柔性变栅距光栅 柱面变栅距光栅 角位移传感器 弹性凸模
• 年，卷（期）: 2011,（8）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 1859-1866
• 分类号: TP212.12
• 字数: 3947字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20111908.1859

摘要

研制了用于采集和反馈飞机舵面位置信息的柔性变栅距光栅角位移传感器.分析了影响传感器精度的主要因素,给出了制备过程所采用的精密成型工艺.首先,根据柱面变栅距光栅在柔性变栅距光栅角位移传感器中的核心作用,介绍了传感器的工作原理;分析了工艺误差对传感器精度的影响,提出了柔性变栅距光栅精密成型为柱面变栅距光栅后内表面圆度应不大于0.01 mm.在圆度对传感器精度影响的量值基础上,采用了柱面变栅距光栅精密成型工艺.最后,利用有限元仿真分析了柱面变栅距光栅精密成型工艺的可行性.实验结果表明:柱面变栅距光栅内表面圆度达到0.004 3mm,传感器的线性度达到最大工作角度的0.27％,满足了航空机载传感器的精度要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨德兴	西北工业大学理学院陕西省光信息技术重点实验室	39	273	9.0	14.0
2	王东辉	中国航天工业集团公司西安飞行自动控制研究所	3	11	2.0	3.0
3	包艳	西北工业大学理学院陕西省光信息技术重点实验室	1	7	1.0	1.0
7	李秉实	中国航天工业集团公司西安飞行自动控制研究所	1	7	1.0	1.0
8	郑普超	中国航天工业集团公司西安飞行自动控制研究所	1	7	1.0	1.0