钢圈反射式光栅信号的补偿

• 作者: 盖竹秋 程志峰
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 钢圈式编码器 反射式光栅 传感器 Lissajou图 信号补偿
• 年，卷（期）: 2011,（12）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 2947-2953
• 分类号: TP212.12|TN762
• 字数: 2411字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20111912.2947

摘要

为了提高钢圈反射式光栅的测量精度,设计了光栅信号补偿系统,分别对光栅信号的幅值、直流电平和相位进行了补偿,补偿后两路光栅信号的正交性得到了改善.首先,根据钢圈反射式光栅提取信号的方式建立光栅信号电子学处理系统.然后,分别从幅值、直流电平和相位等3方面提出系统的补偿算法.以8 192 lp/mm的钢圈反射式光栅为平台,以实际的精度检测结果为评判依据,对提出的信号补偿系统进行了实验验证.结果表明,补偿后的光栅精度比补偿前提高了2.28″,提高幅度达到50％.实验结果验证了光栅信号补偿方案的可行性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	盖竹秋	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所中国科学院航空光学成像与测量重点实验室	5	63	4.0	5.0
5	程志峰	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所中国科学院航空光学成像与测量重点实验室	13	143	7.0	11.0