标准镜的高精度柔性支撑镜框的优化设计

• 作者: 杨怀江 王平 王汝冬 王立朋 田伟 隋永新
• 来源期刊: 中国光学
• 学科: 工学
• 关键词: 干涉仪 标准镜 柔性镜框 定位精度 稳定性 有限元分析
• 年，卷（期）: 2011,（4）
• 所属期刊栏目: 光学仪器
• 页码范围: 380-387
• 分类号: TH744.3|TH703
• 字数: 2913字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.2095-1531.2011.04.010

摘要

为了实现干涉仪标准镜中光学元件的高精度定位，设计了一种柔性支撑镜框，研究了该结构的力学模型、结构参数、定位精度和透镜变形。首先，根据材料力学原理将柔性镜框等效为一个弹簧系统；根据力学方程和几何关系，建立了透镜中心位置与柔性结构的挠度之间的二元方程。然后，分析了安装位置、温度、结构参数对透镜位置以及作用力的影响。最后，应用有限元仿真分析了所设计结构的力学性能，并进行对比验证。结果表明，数值仿真分析的结果与有限元仿真结果基本相同，柔性镜框的柔性结构厚度最优值为1．5mm。该设计方案完全满足干涉仪标准镜对镜框在定位精度、稳定性方面的要求。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	田伟	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	33	217	9.0	14.0
2	王平	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	192	2203	24.0	40.0
3	王汝冬	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	10	23	3.0	4.0
4	王立朋	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	11	39	4.0	6.0
5	隋永新	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	71	495	11.0	19.0
6	杨怀江	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	62	411	11.0	18.0