2.7米标准球面检验镜支撑优化设计

• 作者: 张真 毕勇 焦长君 高婧婧 黄屾
• 来源期刊: 中国光学
• 学科: 工学
• 关键词: 标准球面镜 重锤支撑 优化设计 扰动分析
• 年，卷（期）: 2020,（4）
• 所属期刊栏目: 原创文章
• 页码范围: 805-813
• 页数: 9页
• 分类号: TG156
• 字数: 3913字
• 语种: 中文
• DOI: 10.37188/CO.2019-0225

摘要

球面检验镜口径不断增大导致其检验精度下降,针对该问题,本文优化设计了2.7米标准球面镜的重锤支撑参数,并对该标准球面镜的调整架以及支撑系统进行了结构设计.首先,利用有限元和遗传算法,对镜体进行了54点等力支撑环带优化,针对增加嵌套孔后镜体刚度变差的情况,对各环带底支撑力和侧支撑力分别进行了优化;然后,利用统计方法分析了支撑半径和支撑力误差对支撑变形的影响;最后,基于优化分析结果对标准检验镜的调整架和支撑系统进行了结构设计.分析结果表明,经过对标准球面镜54点支撑位置、各环带底支撑力和侧支撑力进行优化设计后,在球面镜支撑变形RMS(Root Mean Square)小于1/115λ(λ=632.8 nm),底支撑位置扰动为±2 mm,侧支撑位置扰动为±0.6 mm,以及支撑力扰动为±3 N的情况下,支撑变形小于1/70λ,满足标准球面镜的支撑要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张真		10	138	6.0	10.0
2	毕勇		22	179	7.0	13.0
3	高婧婧	中国科学院南京天文仪器研制中心	1	0	0.0	0.0
7	焦长君		2	0	0.0	0.0
8	黄屾		1	0	0.0	0.0