红外双波段激光滤光膜的研制

• 作者: 付秀华 宫大为 杨道奇 耿似玉
• 来源期刊: 中国光学
• 学科: 物理学
• 关键词: 光学薄膜 激光滤光膜 离子轰击 真空退火
• 年，卷（期）: 2011,（3）
• 所属期刊栏目: 光学薄膜
• 页码范围: 293-298
• 分类号: O484.1
• 字数: 2524字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.2095-1531.2011.03.012

摘要

为了满足红外军用仪器的特殊要求,根据薄膜理论进行了红外双波段滤光膜的膜系设计;采用电子束真空镀膜的方法,通过对工艺参数的调整,在多光谱ZnS基底上镀制了1 064nm高反、3～5μm高透的红外双波段滤光膜.利用低能离子轰击,使膜层与基底间的应力明显减小;使用BGS 6341薄膜应力测试仪,采用渐变梯度法,测得其压应力由122 MPa降到51 MPa.另外,通过低能离子轰击和真空退火处理,提高了膜层的抗损伤阈值.结果显示所镀膜层满足红外军用仪器的使用要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	付秀华	长春理工大学光电工程学院	141	525	11.0	15.0
2	宫大为	长春理工大学光电工程学院	2	20	2.0	2.0
3	杨道奇	长春理工大学光电工程学院	4	25	2.0	4.0