CrN基复合薄膜的结构及摩擦磨损性能研究

• 作者: 刘千喜 张广安 王立平 薛群基
• 来源期刊: 摩擦学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 复合材料 CrN基薄膜 结构 摩擦磨损
• 年，卷（期）: 2011,（2）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 181-186
• 分类号: TH117.3
• 语种: 中文

摘要

采用反应磁控溅射法制备了CrN、CrSiN与CrAIN复合薄膜,分析了复合薄膜的微观结构,并考察了3类薄膜的摩擦磨损性能.结果表明:所制备的薄膜晶体结构没有随着Si或Al的加入发生转变,仍然为而心立方结构.CrAlN复合薄膜为合金复合薄膜,其中Al以置换方式固溶于CrN中,取代了一部分Cr原子,形成固溶体;CrSiN复合薄膜为晶态CrN与非晶态Si3N4组成纳米复合结构.复合薄膜结构致密且硬度较CrN大幅提高,在摩擦磨损过程中具有较强的抗形变能力,能够有效阻止裂纹,抗摩擦磨损性能较CrN薄膜均有不同程度的提高.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	薛群基	中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室	219	3991	32.0	53.0
2	王立平	中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室	57	810	15.0	27.0