基于F-P干涉的强度型光纤压力传感器

• 作者: 李学金 洪学明 耿优福 赵小丽 邓元龙 邱成军
• 来源期刊: 深圳大学学报（理工版）
• 学科: 工学
• 关键词: 传感器技术 光纤光学 压力测量 微机电系统 Fabry-Perot干涉 方形硅膜 强度调制
• 年，卷（期）: 2011,（1）
• 页码范围: 17-22
• 分类号: TP212.1|TH823
• 字数: 2247字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-2618.2011.01.002

摘要

研究基于强度解调技术的Fabry-Perot干涉型光纤微机电系统(micro-electro-mechanical systems,MEMS) 压力传感器.该传感器采用MEMS各向异性腐蚀工艺加工的方形硅杯,其硅杯结构尺寸和表面光洁度比圆形压力敏感膜一致性好.传感器采用大面积比的方法,降低硅敏感膜片弯曲变形所引起的非线性测量误差,新增参考光路以补偿光源功率波动对测量的影响.在0～38 kPa压力范围内实现了单值测量,相对灵敏度达到0.7%/kPa.实验与理论分析结果一致,具有很好的测量重复性.提出的多波长和多传感融合的测量方法,可用于扩大测量范围,提高灵敏度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李学金	深圳大学深圳市传感器技术重点实验室	18	190	7.0	13.0
2	洪学明	深圳大学深圳市传感器技术重点实验室	4	55	3.0	4.0
3	邓元龙	深圳大学深圳市传感器技术重点实验室	27	142	8.0	11.0
4	邱成军	黑龙江大学电子工程学院	35	231	6.0	14.0
5	耿优福	深圳大学深圳市传感器技术重点实验室	4	11	2.0	3.0
6	赵小丽	深圳大学深圳市传感器技术重点实验室	1	6	1.0	1.0