膜片式微型F-P腔光纤压力传感器

• 作者: 于清旭 贾春艳
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 光纤Fabry-Perot腔 微型压力传感器 石英膜片 聚合物膜片
• 年，卷（期）: 2009,（12）
• 所属期刊栏目: 现代应用光学
• 页码范围: 2887-2892
• 页数: 6页
• 分类号: TN253
• 字数: 2645字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2009.12.002

摘要

为满足工业和生物医学领域对微型化传感器的需求,实验研究了基于Fabry-Perot(F-P)干涉仪原理的膜片式微型光纤压力传感器的制作工艺.在单模光纤端面上直接熔接外径约175 μm的毛细石英管,在石英管的另一端制作敏感膜片,从而使光纤端面与膜片内表面之间形成F-P干涉腔.采用电弧熔接、切割、腐蚀膜片等方法制作了石英膜片式压力传感器,该传感器在0～3.1 MPa内F-P腔的腔长变化灵敏度为41.09 nm/MPa,压强测量分辨率为681 Pa,并具有很小的温度敏感系数.在30～140 ℃,温度交差敏感＜1.07 kPa/℃.为了克服石英膜片减薄困难的缺点,选用聚合物材料(PSQ)作为压力敏感膜片制作了F-P传感器.室温下在0.1～2.1 MPa,PSQ膜片的F-P腔长变化灵敏度达到1 886.85 nm/MPa,压强测量分辨率达到53 Pa,十分接近人类或其他动物的体内压强测量水平.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	于清旭	大连理工大学物理与光电工程学院	59	689	16.0	23.0
2	贾春艳	大连理工大学物理与光电工程学院	1	50	1.0	1.0