微结构力学特性分析

• 作者: 白艳萍 胡红萍 黄旭兰 黄浩森
• 来源期刊: 测试技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 挠度 悬臂梁 绝对误差 神经网络 弹性模量
• 年，卷（期）: 2011,（4）
• 所属期刊栏目: 测试技术与理论研究
• 页码范围: 308-311
• 分类号: TP183
• 字数: 2033字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-7449.2011.04.007

摘要

在MEMS器件中,用的较多的构件有薄膜材料,对其力学性能的分析是MEMS器件分析的关键所在.由于受到残余应力,弹性模量的误差,薄膜晶格的各向异性,泊松比,微结构的疲劳和破坏韧性等的影响,实际测量数据和理论公式总存在一些误差.本文通过实际测量的数据在Matlab环境下的分析,得到如下结论:当微结构梁的挠度小于600 μn时,力与挠度的关系理论公式与实际数据对比是比较一致的,大于600 μm的实验数据渐渐地偏离理论上的直线公式,呈现出非线性的特性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	白艳萍	中北大学理学院	124	639	13.0	19.0
2	胡红萍	中北大学理学院	79	243	9.0	12.0
3	黄旭兰	中北大学理学院	1	3	1.0	1.0
4	黄浩森	中北大学理学院	1	3	1.0	1.0