纳米级微动平台的结构力学特性及实验研究

• 作者: 丁晓辉 刘柱 董再励 魏阳杰
• 来源期刊: 机器人
• 关键词: 微动平台 结构力学 有限元方法 压电陶瓷驱动器
• 年，卷（期）: 2010,（3）
• 所属期刊栏目: 论文与报告
• 页码范围: 321-325
• 分类号: TH123
• 语种: 中文
• DOI: 10.3724/SP.J.1218.2010.00321

摘要

为了实现2维非耦合纳米驱动控制,介绍了一种基于压电陶瓷驱动和柔性筋板导向的一体化新型纳米级微动平台的结构设计.重点介绍了运用解析计算方法对平台结构力学特性的分析研究,得出了该平台导向筋板弱截面处的最大应力以及主体机构的基频值,并通过有限元仿真验证了解析计算结果的正确性.最后,采用显微视觉技术,进行了微动平台动态运动性能的测试实验,给出了平台的动态输入输出特性曲线.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	董再励	中国科学院沈阳自动化研究所机器人学国家重点实验室	73	1005	17.0	29.0
2	刘柱	中国科学院沈阳自动化研究所机器人学国家重点实验室	8	33	3.0	5.0
3	丁晓辉	中国科学院沈阳自动化研究所机器人学国家重点实验室	1	7	1.0	1.0
7	魏阳杰	中国科学院沈阳自动化研究所机器人学国家重点实验室	5	53	4.0	5.0