超高真空下小型四极质谱计的性能研究

• 作者: 成永军 李得天 高斌
• 来源期刊: 真空与低温
• 学科: 工学
• 关键词: 小型四极质谱计 性能研究 超高真空
• 年，卷（期）: 2011,（2）
• 所属期刊栏目: 研究报告
• 页码范围: 80-84
• 分类号: TB773
• 字数: 3033字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-7086.2011.02.004

摘要

在超高真空下对QMS200小型四极质谱计进行了实验研究.实验通过调节离子源的发射电流、聚焦电压和场轴电压,测量了质谱计灵敏度、线性以及图样系数的相应变化.实验结果表明,不同的参数设置对质谱计性能有不同的影响.文章结论对四极质谱计应用具有一定的参考价值.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李得天	兰州空间技术物理研究所真空低温技术与物理重点实验室	55	149	6.0	9.0
2	成永军	兰州空间技术物理研究所真空低温技术与物理重点实验室	34	75	6.0	7.0
3	高斌	兰州空间技术物理研究所真空低温技术与物理重点实验室	1	4	1.0	1.0