离体电生理检测微电极阵列传感器的设计与制备

• 作者: 刘春秀 宋轶琳 林楠森 王利 罗金平 蔡新霞
• 来源期刊: 纳米技术与精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 微电极阵列 离体组织 电生理 MEMS
• 年，卷（期）: 2011,（3）
• 所属期刊栏目: 微机电系统
• 页码范围: 189-193
• 分类号: TP212.3
• 字数: 1398字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-6030.2011.03.001

摘要

针对动物离体组织电生理检测的实际需求,设计并制备了一种以载玻片为基底,以微电板阵列为敏感元件,并将灌流装置集成一体的传感器芯片.采用微电子机械系统(MEMS)技术中的薄膜工艺完成了微电极阵列的制备,其导电层和绝缘层分别是铂和氮化硅.采用聚二甲基硅烷(PDMS)浇铸制成埋有管道的方形灌流槽.该传感器可保持离体组织的生理活性,同时实现电生理信号的64通道同步记录.整个芯片结构紧凑,接口简单,使用方便.对芯片的电学性能进行了研究,结果表明,通过在微电极表面电镀修饰铂黑,可有效降低其交流阻抗,提高信噪比.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王利	中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室	57	381	11.0	17.0
2	刘春秀	中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室	25	282	10.0	16.0
3	罗金平	中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室	8	62	4.0	7.0
4	林楠森	中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室	5	29	4.0	5.0
8	宋轶琳	中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室	5	31	3.0	5.0