基于单频激光干涉仪的精密工件台定位系统设计

• 作者: 王蕴 薛虹 韩立
• 来源期刊: 现代科学仪器
• 学科: 工学
• 关键词: 单频激光干涉仪 精密工件台 精密定位
• 年，卷（期）: 2011,（2）
• 所属期刊栏目: 仪器研制与开发
• 页码范围: 49-52
• 分类号: TH714.1
• 语种: 中文

摘要

激光干涉仪是以稳频氦氖激光波长为已知长度,利用迈克耳逊干涉系统测量位移的工具.近年来,激光干涉仪一直作为精密测量工具为精密加工机和工件台进行定位校准工作.本文介绍了一种基于单频激光干沙仪的精密工件台测量定位系统.本定位系统采用单频激光干涉仪作为精密测量工具,采用高档8位单片机作为数据处理微控单元,并基于VC++语言编写相关控制软件.实际应用证明本系统定位速度快,精度高,理论上最小分辫率为38.6pm

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	韩立	中国科学院电工研究所	98	376	9.0	13.0
2	薛虹	中国科学院电工研究所	18	30	3.0	4.0
3	王蕴	中国科学院电工研究所	2	1	1.0	1.0