2011中国电子气体

• 作者: 孙福楠
• 来源期刊: 低温与特气
• 学科: 工学
• 关键词: 高纯气体 标准气体 硅烷 高纯氨 氯化氨 四氟化碳 磷烷 乙硼烷
• 年，卷（期）: 2011,（6）
• 所属期刊栏目: 综述评论
• 页码范围: 1-4
• 分类号: TQ117
• 字数: 5167字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-7804.2011.06.001

摘要

对2011年中国气体进行了回顾,介绍了几种重要气体的国内外技术与市场情况,预测未来中国气体的发展走向.